Полупроводники

Разработки в области фильтрации защищают как инструменты обработки, так и окружающую среду от основных кислотных и органических газообразных загрязняющих веществ. Воздушная молекулярная камера (AMC) фильтрации загрязняющих веществ LITHOGUARD и фильтрующие вставки улучшают как производительность, так и работоспособность путём контроля химического состава окружающей среды.